Обзор

Контроль полупроводников — критически важный этап обеспечения выхода годных изделий и надежности на протяжении всего процесса производства интегральных схем. Научные камеры играют решающую роль в качестве основных детекторов: их разрешение, чувствительность, скорость и надежность напрямую влияют на обнаружение дефектов на микро- и наноуровне, а также на стабильность систем контроля. Для решения различных задач мы предлагаем широкий ассортимент камер: от широкоформатных высокоскоростных сканирующих до передовых решений TDI, широко применяемых для контроля дефектов пластин, фотолюминесцентного тестирования, метрологии пластин и контроля качества упаковки.