Översikt

Halvledarinspektion är ett avgörande steg för att säkerställa avkastning och tillförlitlighet i hela tillverkningsprocessen för integrerade kretsar. Som kärndetektorer spelar vetenskapliga kameror en avgörande roll – deras upplösning, känslighet, hastighet och tillförlitlighet påverkar direkt defektdetektering på mikro- och nanoskala, såväl som stabiliteten hos inspektionssystem. För att möta olika applikationsbehov erbjuder vi en omfattande kameraportfölj, från storformatsskanning med hög hastighet till avancerade TDI-lösningar, som används i stor utsträckning inom waferdefektinspektion, fotoluminescenstestning, wafermetrologi och kvalitetskontroll av förpackningar.