Inspeksi semikonduktor merupakan langkah krusial dalam memastikan hasil dan keandalan di seluruh proses manufaktur sirkuit terpadu. Sebagai detektor inti, kamera ilmiah memainkan peran penting—resolusi, sensitivitas, kecepatan, dan keandalannya berdampak langsung pada deteksi cacat pada skala mikro dan nano, serta stabilitas sistem inspeksi. Untuk memenuhi beragam kebutuhan aplikasi, kami menawarkan portofolio kamera yang komprehensif, mulai dari pemindaian berkecepatan tinggi format besar hingga solusi TDI canggih, yang banyak digunakan dalam inspeksi cacat wafer, pengujian fotoluminesensi, metrologi wafer, dan kontrol kualitas kemasan.
Rentang Spektral: 180–1100 nm
QE tipikal: 63,9% @ 266 nm
Kecepatan Saluran Maksimum: 1 MHz @ 8/10 bit
Tahap TDI: 256
Antarmuka Data: 100G / 40G CoF
Metode Pendinginan: Udara / Cairan
Rentang Spektral: 180–1100 nm
QE tipikal: 50% @ 266 nm
Kecepatan Saluran Maksimum: 600 kHz @ 8 / 10 bit
Tahap TDI: 256
Antarmuka Data: QSFP+
Metode Pendinginan: Udara / Cairan
Rentang Spektral: 180–1100 nm
QE tipikal: 38% @ 266 nm
Kecepatan Saluran Maksimum: 510 kHz @ 8 bit
Tahap TDI: 256
Antarmuka Data: CoaXPress 2.0
Metode Pendinginan: Udara / Cairan