Apžvalga

Puslaidininkių tikrinimas yra labai svarbus žingsnis užtikrinant integrinių grandynų gamybos proceso našumą ir patikimumą. Mokslinės kameros, kaip pagrindiniai detektoriai, atlieka lemiamą vaidmenį – jų skiriamoji geba, jautrumas, greitis ir patikimumas tiesiogiai veikia defektų aptikimą mikro ir nano lygmenimis, taip pat tikrinimo sistemų stabilumą. Siekdami patenkinti įvairius taikymo poreikius, siūlome platų kamerų portfelį – nuo ​​didelio formato didelės spartos skenavimo iki pažangių TDI sprendimų, plačiai naudojamų plokštelių defektų tikrinimui, fotoliuminescencijos bandymams, plokštelių metrologijai ir pakuočių kokybės kontrolei.