Контроль полупроводников — критически важный этап обеспечения выхода годных изделий и надежности на протяжении всего процесса производства интегральных схем. Научные камеры играют решающую роль в качестве основных детекторов: их разрешение, чувствительность, скорость и надежность напрямую влияют на обнаружение дефектов на микро- и наноуровне, а также на стабильность систем контроля. Для решения различных задач мы предлагаем широкий ассортимент камер: от широкоформатных высокоскоростных сканирующих до передовых решений TDI, широко применяемых для контроля дефектов пластин, фотолюминесцентного тестирования, метрологии пластин и контроля качества упаковки.
Спектральный диапазон: 180–1100 нм
Типичная квантовая эффективность: 63,9% при 266 нм
Макс. скорость линии: 1 МГц @ 8/10 бит
Стадия TDI: 256
Интерфейс данных: 100G / 40G CoF
Метод охлаждения: воздушно-жидкостный
Спектральный диапазон: 180–1100 нм
Типичная квантовая эффективность: 50% при 266 нм
Макс. частота строк: 600 кГц при 8/10 бит
Стадия TDI: 256
Интерфейс данных: QSFP+
Метод охлаждения: воздушно-жидкостный
Спектральный диапазон: 180–1100 нм
Типичная квантовая эффективность: 38% при 266 нм
Макс. скорость линии: 510 кГц @ 8 бит
Стадия TDI: 256
Интерфейс данных: CoaXPress 2.0
Метод охлаждения: воздушно-жидкостный