Санҷиши нимноқилҳо як қадами муҳим дар таъмини ҳосилнокӣ ва эътимоднокӣ дар раванди истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ мебошад. Ҳамчун детекторҳои аслӣ, камераҳои илмӣ нақши ҳалкунанда мебозанд - ҳалли, ҳассосият, суръат ва эътимоднокии онҳо бевосита ба ошкор кардани камбудиҳо дар микро ва наномикёс ва инчунин устувории системаҳои санҷиш таъсир мерасонанд. Барои қонеъ кардани эҳтиёҷоти гуногуни барнома, мо портфели мукаммали камераро пешниҳод мекунем, аз сканеркунии формати баландсуръат то ҳалли пешрафтаи TDI, ки ба таври васеъ дар санҷиши нуқсонҳои вафли, санҷиши фотолюминессенсия, метрологияи вафли ва назорати сифати бастабандӣ истифода мешаванд.
Диапазони спектралӣ: 180–1100 нм
QE маъмулӣ: 63,9% @ 266 нм
Макс. Меъёри хат: 1 МГс @ 8/10 бит
Марҳилаи TDI: 256
Интерфейси маълумот: 100G / 40G CoF
Усули хунуккунӣ: ҳаво / моеъ
Диапазони спектралӣ: 180–1100 нм
QE маъмулӣ: 50% @ 266 нм
Макс. Меъёри хат: 600 kHz @ 8/10 бит
Марҳилаи TDI: 256
Интерфейси маълумот: QSFP+
Усули хунуккунӣ: ҳаво / моеъ
Диапазони спектралӣ: 180–1100 нм
QE маъмулӣ: 38% @ 266 нм
Макс. Суръати хат: 510 kHz @ 8 бит
Марҳилаи TDI: 256
Интерфейси маълумот: CoaXPress 2.0
Усули хунуккунӣ: ҳаво / моеъ