Dans les caméras d'imagerie scientifique,architecture des capteursjoue un rôle crucial dans la détermination de la qualité d'image, de la sensibilité et des performances globales. La plupart des appareils photo modernes hautes performances utilisentCMOS (Semi-conducteur métal-oxyde complémentaire)technologie pour la matrice de pixels photosensibles qui forme l'image.
Dans la technologie des capteurs CMOS, il existe deux architectures d'éclairage principales :Éclairage avant (FSI)etCapteurs à illumination arrière (BSI)Bien que les deux conceptions soient largement utilisées dans les appareils photo scientifiques, elles diffèrent par la manière dont la lumière incidente atteint les photodiodes du capteur.
Comprendre les différences entreCapteurs sCMOS FSI et BSIpeut aider les chercheurs et les ingénieurs à choisir la caméra la plus adaptée à des applications telles que la microscopie, l'imagerie en faible luminosité et d'autres mesures scientifiques exigeantes.
Que sont les capteurs sCMOS FSI et BSI ?
Le modèle de capteur fait référence au type de technologie de capteur utilisé dans les appareils d'imagerie. Dans les systèmes d'imagerie scientifique, le capteur joue un rôle essentiel dans la capture de la lumière incidente et sa conversion en signaux électriques qui forment l'image finale.
La plupart des modernescaméras scientifiquesutiliserCMOSLa technologie des matrices de pixels photosensibles. Les capteurs CMOS sont devenus la norme industrielle pour l'imagerie haute performance et sont largement utilisés en microscopie, en recherche en sciences de la vie et dans les applications d'inspection industrielle.
Dans la technologie des capteurs CMOS, on distingue deux principales architectures d'éclairage utilisées dans les appareils photo modernes :Capteurs FSIetCapteurs BSIBien que les deux types soient basés sur la même technologie d'imagerie CMOS, ils diffèrent par la façon dont la lumière traverse la structure du capteur avant d'atteindre le silicium détecteur de lumière.
Comprendre cette différence structurelle est essentiel pour expliquer pourquoiLes capteurs BSI offrent souvent une sensibilité plus élevée, notamment dans les environnements d'imagerie scientifique à faible luminosité.
Comment fonctionnent les capteurs à éclairage frontal (FSI) ?
capteurs FSI — également connus sous le nom decapteurs à éclairage frontal (FI)— constituent l'architecture de capteur CMOS la plus courante utilisée dans les systèmes d'imagerie modernes. Cette conception est largement adoptée principalement parce qu'elle estplus simple et plus économique à fabriquer.
Dans un capteur FSI, le câblage et les transistors qui contrôlent chaque pixel sont placésau-dessus de la couche de silicium photosensibleLes photons incidents doivent donc traverser cette couche électronique avant d'atteindre les photodiodes qui détectent la lumière. Si un photon frappe ces composants, il peut êtreabsorbé ou dispersé, l'empêchant d'atteindre la région photosensible.
Cette structure réduit lefacteur de remplissagede chaque pixel et réduit l'efficacitéEfficacité quantique(QE)— la probabilité qu'un photon incident soit détecté. Par conséquent, les capteurs FSI offrent généralementsensibilité réduite, notamment dans les environnements d'imagerie à faible luminosité.
Avantages
●Plus simple à fabriquer– Les capteurs FSI sont plus faciles à produire car leur structure ne nécessite pas d'amincissement du substrat en silicium.
●coûts de fabrication réduits– Le processus de fabrication simplifié rend les capteurs à éclairage frontal plus économiques.
Inconvénients
●Sensibilité réduite– Les câbles et les composants électroniques sont situés au-dessus du silicium photosensible, ce qui signifie que certains photons entrants peuvent être bloqués avant d'atteindre la photodiode.
Figure 1 : Structure des pixels à illumination frontale et arrière
Vue latérale de la structure des pixels pour les capteurs à illumination frontale (à gauche) et les capteurs à illumination arrière (à droite). La face avant est représentée avec ou sans filtres de couleur, la face arrière avec ou sans microlentilles. Voir le texte principal pour une explication des composants.
Comment fonctionnent les capteurs à illumination arrière (BSI) ?
Les capteurs BSI utilisent une architecture différente conçue pour améliorer l'efficacité de la collecte de lumière. Dans cette conception, la structure du capteur est effectivementinversé, permettant aux photons d'atteindre directement le silicium photosensible sans passer par des câbles ou des transistors.
Pour obtenir cette configuration, le silicium massif supportant la couche photosensible doit êtreamincis mécaniquement ou chimiquement, un processus souvent appeléamincissement du dosCette étape de fabrication permet à la lumière de pénétrer jusqu'aux photodiodes, mais elle complexifie également le processus de fabrication.
Comme la couche de câblage est positionnée derrière la photodiode, le pixelLe taux de remplissage approche les 100%, permettant ainsi de détecter une proportion beaucoup plus importante de photons incidents. De ce fait, les capteurs BSI peuvent atteindreQE très élevé—dans certains cas atteignant90–95%— ce qui améliore considérablement la sensibilité dans des conditions d'imagerie en faible luminosité.
Avantages


●sensibilité accrue– En l’absence de câblage bloquant le trajet de la lumière, davantage de photons atteignent les photodiodes, améliorant ainsi la détection du signal.
●Performances améliorées en conditions de faible luminosité– Les capteurs BSI sont particulièrement efficaces dans les applications où la capture de signaux faibles ou de détails fins est essentielle.
Inconvénients
●Coût plus élevé et complexité de fabrication– Le processus d’amincissement des plaquettes requis pour les capteurs BSI augmente la difficulté de fabrication et le coût de production.
Principales différences entre les capteurs sCMOS FSI et BSI
Bien que les capteurs FSI et BSI soient tous deux basés sur la même technologie d'imagerie CMOS, leurs structures internes entraînent des différences importantes en termes de performances, de sensibilité et de complexité de fabrication.
La principale différence réside dans la manière dont la lumière atteint la photodiode. Dans les capteurs FSI, les photons incidents doivent traverser plusieurs couches de câblage et de composants électroniques avant d'atteindre le silicium photosensible. Dans les capteurs BSI, la structure du capteur est inversée : les photons frappent directement la photodiode, ce qui améliore l'efficacité de la collecte de lumière.
Cette modification architecturale augmente le facteur de remplissage et améliore considérablement le rendement quantique, permettant aux capteurs BSI de détecter davantage de photons incidents, notamment en conditions de faible luminosité. Cependant, cette amélioration des performances s'accompagne d'un processus de fabrication plus complexe.
| Fonctionnalité | Capteurs FSI sCMOS | Capteurs BSI sCMOS |
| structure du capteur | Câblage au-dessus de la photodiode | Câblage derrière la photodiode |
| Chemin de lumière | Partiellement obstrué par des appareils électroniques | Chemin direct vers la photodiode |
| facteur de remplissage | Réduit par couches de câblage | Proche de 100% |
| Efficacité quantique | Modéré | Très élevé (jusqu'à ~95%) |
| Sensibilité | imagerie en faible luminosité inférieure | sensibilité accrue |
| coût de fabrication | Inférieur | Plus haut |
En raison de ces différences, le choix entre les capteurs FSI et BSI dépend souvent de l'équilibre entre les exigences de performance et le coût du système.
Choisir entre les capteurs FSI et BSI
Pour choisir entre un capteur à illumination frontale (FSI) et un capteur à illumination arrière (BSI) pour votre application d'imagerie, le critère le plus important est le rendement quantique (QE) requis. Le rendement quantique désigne l'efficacité avec laquelle un capteur convertit la lumière incidente en signaux électriques.
Capteurs FSIpeut suffire pour les applications où le rapport coût-efficacité est la priorité et où le niveau de sensibilité à la lumière requis est modéré.
Capteurs BSIBien que plus coûteuses, elles sont idéales pour les applications où une sensibilité élevée est cruciale, notamment dans des conditions de faible luminosité.
Comprendre l'efficacité quantique requise pour votre application peut vous aider à déterminer si une architecture de capteur FSI ou BSI est le meilleur choix.
Conclusion
Les capteurs FSI et BSI sont largement utilisés dans les caméras d'imagerie scientifique modernes, chacun offrant des avantages distincts selon l'application. Les capteurs FSI constituent une solution économique et éprouvée pour de nombreux systèmes d'imagerie où les conditions d'éclairage sont stables et où une sensibilité extrême n'est pas requise.
Les capteurs BSI, quant à eux, sont conçus pour maximiser la détection des photons et offrir un QE et une sensibilité plus élevés, ce qui les rend idéaux pour les applications exigeantes en faible luminosité telles que la microscopie à fluorescence et d'autres tâches d'imagerie scientifique.
Tucsen propose une gamme de caméras sCMOS FSI et BSI conçues pour répondre à différents besoins d'imagerie, aidant ainsi les chercheurs à choisir l'architecture de capteur la plus adaptée à leurs applications spécifiques.
Recommandations concernant les caméras Tucsen FSI CMOS et BSI sCMOS
| Type d'appareil photo | BSI sCMOS | FSI sCMOS |
| Haute sensibilité | Dhyana 95V2 Dhyana 400BSIV2 Dhyana 9KTDI
| Dhyana 400D Dhyana 400DC |
| Grand format | Dhyana 6060BSI Dhyana 4040BSI | Dhyana 6060 Dhyana 4040 |
| Conception compacte | —— | Dhyana 401D Dhyana 201D |
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25/03/2022