Tudományos képalkotó kamerákban aérzékelő architektúrakritikus szerepet játszik a képminőség, az érzékenység és az általános teljesítmény meghatározásában. A legtöbb modern nagy teljesítményű kameraCMOS (kiegészítő fém-oxid félvezető)a képet alkotó fényérzékeny pixeltömb technológiája.
A CMOS érzékelőtechnológián belül két fő megvilágítási architektúra létezik:Elülső megvilágítású (FSI)ésHátsó megvilágított (BSI) érzékelőkBár mindkét kialakítást széles körben használják tudományos kamerákban, abban különböznek, hogy a bejövő fény hogyan éri el az érzékelő fotodiódáit.
A különbségek megértéseFSI és BSI sCMOS érzékelőksegíthet a kutatóknak és mérnököknek a legmegfelelőbb kamera kiválasztásában olyan alkalmazásokhoz, mint a mikroszkópia, a gyenge fényviszonyok melletti képalkotás és más igényes tudományos mérések.
Mik azok az FSI és BSI sCMOS érzékelők?
Az érzékelőmodell a képalkotó eszközökben használt kameraérzékelő-technológiára utal. A tudományos képalkotó rendszerekben az érzékelő kritikus szerepet játszik a bejövő fény rögzítésében és elektromos jelekké alakításában, amelyek a végső képet alkotják.
Legmodernebbtudományos kamerákhasznosítaniCMOStechnológia a fényérzékeny pixeltömbökhöz. A CMOS érzékelők az iparági szabványgá váltak a nagy teljesítményű képalkotásban, és széles körben használják őket a mikroszkópiában, az élettudományi kutatásban és az ipari ellenőrzési alkalmazásokban.
A CMOS érzékelőtechnológián belül a modern kamerákban két fő megvilágítási architektúrát használnak:FSI érzékelőkésBSI érzékelőkBár mindkét típus ugyanazon a CMOS képalkotó technológián alapul, abban különböznek, hogy a fény hogyan halad át az érzékelő szerkezetén, mielőtt elérné a fényérzékelő szilíciumot.
Ennek a strukturális különbségnek a megértése kulcsfontosságú annak magyarázatához, hogy miértA BSI érzékelők gyakran nagyobb érzékenységet biztosítanak., különösen gyenge fényviszonyok melletti tudományos képalkotási környezetben.
Hogyan működnek az elülső megvilágított (FSI) érzékelők?
FSI érzékelők – más névenelölről megvilágított (FI) érzékelők—a modern képalkotó rendszerekben használt leggyakoribb CMOS érzékelő architektúra. Ez a kialakítás széles körben elterjedt, elsősorban azért, mertegyszerűbb és költséghatékonyabb a gyártása.
Egy FSI érzékelőben a pixeleket vezérlő vezetékek és tranzisztorok a következő helyen találhatók:a fényérzékeny szilíciumréteg felettA beérkező fotonoknak ezért át kell haladniuk ezen az elektronikai rétegen, mielőtt elérnék a fényt érzékelő fotodiódákat. Ha egy foton eltalálja ezeket az alkatrészeket, azfelszívódott vagy szétszórt, megakadályozva, hogy elérje a fényérzékeny régiót.
Ez a szerkezet csökkenti akitöltési tényezőminden pixelből, és csökkenti a ténylegesKvantumhatékonyság(QE)– annak valószínűsége, hogy egy bejövő fotont érzékelnek. Ennek eredményeként az FSI érzékelők általában kínálnakalacsonyabb érzékenység, különösen gyenge fényviszonyok melletti képalkotási környezetben.
Előnyök
●Egyszerűbb gyártani– Az FSI érzékelők könnyebben előállíthatók, mivel az érzékelő szerkezete nem igényli a szilícium hordozó elvékonyítását.
●Alacsonyabb gyártási költség– Az egyszerűbb gyártási folyamat költséghatékonyabbá teszi az elölről megvilágított érzékelőket.
Hátrányok
●Alacsonyabb érzékenység– A vezetékek és az elektronikus alkatrészek a fényérzékelő szilícium felett helyezkednek el, ami azt jelenti, hogy egyes bejövő fotonok blokkolódhatnak, mielőtt elérnék a fotodiódát.
1. ábra: Elölről és hátulról megvilágított pixelszerkezet
Az elölről megvilágított érzékelők (balra) és a hátulról megvilágított érzékelők (jobbra) pixelszerkezetének oldalnézete. Elölről színszűrőkkel vagy anélkül, hátulról mikrolencsékkel vagy anélkül látható. Az alkatrészek magyarázatát lásd a fő szövegben.
Hogyan működnek a hátulról megvilágított (BSI) érzékelők?
A BSI érzékelők eltérő architektúrát alkalmaznak, amelynek célja a fénygyűjtési hatékonyság javítása. Ebben a kialakításban az érzékelő szerkezete hatékonyanfordított, lehetővé téve a fotonok számára, hogy közvetlenül elérjék a fényérzékeny szilíciumot anélkül, hogy először vezetékeken vagy tranzisztorokon haladnának át.
Ennek a konfigurációnak az eléréséhez a fényérzékeny réteget tartó szilíciumnakmechanikusan vagy kémiailag hígítva, egy folyamat, amelyet gyakran úgy emlegetnek, minthátvékonyításEz a gyártási lépés lehetővé teszi a fény behatolását a fotodiódákba, de a gyártási folyamatot bonyolultabbá is teszi.
Mivel a vezetékréteg a fotodióda mögött helyezkedik el, a pixela kitöltési tényező megközelíti a 100%-ot, lehetővé téve a bejövő fotonok sokkal nagyobb arányának detektálását. Ennek eredményeként a BSI érzékelők elérhetiknagyon magas mennyiségi enyhítés– egyes esetekben eléri90–95%–ami jelentősen javítja az érzékenységet gyenge fényviszonyok melletti képalkotás során.
Előnyök


●Nagyobb érzékenység– Mivel nincs vezeték, amely elzárná a fény útját, több foton éri el a fotodiódákat, ami javítja a jelérzékelést.
●Jobb teljesítmény gyenge fényviszonyok között– A BSI érzékelők különösen hatékonyak azokban az alkalmazásokban, ahol a gyenge jelek vagy a finom részletek rögzítése kritikus fontosságú.
Hátrányok
●Magasabb költségek és gyártási bonyolultság– A BSI érzékelőkhöz szükséges lapkavékonyítási eljárás növeli a gyártási nehézségeket és a gyártási költségeket.
FSI és BSI sCMOS érzékelők közötti főbb különbségek
Bár mind az FSI, mind a BSI érzékelők ugyanazon a CMOS képalkotási technológián alapulnak, belső szerkezetük jelentős különbségekhez vezet a teljesítményben, az érzékenységben és a gyártási bonyolultságban.
Az elsődleges különbség abban rejlik, hogy a fény hogyan éri el a fotodiódát. Az FSI érzékelőkben a bejövő fotonoknak át kell haladniuk a vezetékek és az elektronika rétegein, mielőtt elérnék a fényérzékeny szilíciumot. A BSI érzékelőkben az érzékelő szerkezete meg van fordítva, így a fotonok közvetlenül a fotodiódára esnek, javítva a fénygyűjtés hatékonyságát.
Ez az architektúrális változás növeli a kitöltési tényezőt és jelentősen javítja a kvantum-egyensúlyt (QE), lehetővé téve a BSI érzékelők számára, hogy több bejövő fotont érzékeljenek – különösen gyenge fényviszonyok között. Ez a teljesítményjavulás azonban egy összetettebb gyártási folyamat árán jelentkezik.
| Jellemző | FSI sCMOS érzékelők | BSI sCMOS érzékelők |
| Érzékelő felépítése | A fotodióda feletti bekötés | Bekötés a fotodióda mögött |
| Fényút | Részben elektronika blokkolja | Közvetlen út a fotodiódához |
| Kitöltési tényező | Vezetékes rétegek által csökkentve | Közel 100%-hoz |
| Kvantumhatékonyság | Mérsékelt | Nagyon magas (akár ~95%) |
| Érzékenység | Alacsonyabb gyenge fényviszonyok melletti képalkotás esetén | Nagyobb érzékenység |
| Gyártási költség | Alacsonyabb | Magasabb |
Ezen különbségek miatt az FSI és a BSI érzékelők közötti választás gyakran a teljesítménykövetelmények és a rendszerköltség közötti egyensúlytól függ.
Az FSI és a BSI érzékelők közötti választás
Amikor képalkotó alkalmazásához elölről megvilágított (FSI) és hátulról megvilágított (BSI) érzékelők közül választ, a legfontosabb szempont a konkrét igényekhez szükséges kvantumhatékonyság (QE). A kvantumhatékonyság azt jelenti, hogy egy érzékelő milyen hatékonyan képes a bejövő fényt elektromos jelekké alakítani.
FSI érzékelőkelegendő lehet olyan alkalmazásokhoz, ahol a költséghatékonyság az elsődleges, és a szükséges fényérzékenységi szint mérsékelt.
BSI érzékelőkbár drágábbak, ideálisak olyan alkalmazásokhoz, ahol a nagy érzékenység kulcsfontosságú, különösen gyenge fényviszonyok között.
Az alkalmazáshoz szükséges kvantumhatékonyság megértése segíthet eldönteni, hogy az FSI vagy a BSI érzékelő architektúra a jobb választás.
Következtetés
Mind az FSI, mind a BSI érzékelőket széles körben használják a modern tudományos képalkotó kamerákban, és mindegyik eltérő előnyöket kínál az alkalmazástól függően. Az FSI érzékelők költséghatékony és kiforrott megoldást kínálnak számos képalkotó rendszerhez, ahol a fényviszonyok stabilak, és nincs szükség extrém érzékenységre.
A BSI érzékelőket ezzel szemben a fotondetektálás maximalizálására, valamint magasabb QE-re és érzékenységre tervezték, így ideálisak igényes, gyenge fényviszonyok melletti alkalmazásokhoz, például fluoreszcens mikroszkópiához és más tudományos képalkotási feladatokhoz.
A Tucsen FSI és BSI sCMOS kamerák széles választékát kínálja, amelyeket különböző képalkotási követelményekhez terveztek, segítve a kutatókat a konkrét alkalmazásaikhoz legmegfelelőbb érzékelő architektúra kiválasztásában.
Tucsen FSI CMOS és BSI sCMOS kamerák ajánlásai
| Kamera típusa | BSI sCMOS | FSI sCMOS |
| Nagy érzékenység | Dhyana 95V2 Dhyana 400BSIV2 Dhyana 9KTDI
| Dhyana 400D Dhyana 400DC |
| Nagy formátum | Dhyana 6060BSI Dhyana 4040BSI | Dhyana 6060 Dhyana 4040 |
| Kompakt kialakítás | —— | Dhyana 401D Dhyana 201D |
Tucsen Photonics Co., Ltd. Minden jog fenntartva. Hivatkozáskor kérjük, tüntesse fel a forrást:www.tucsen.com
2022. március 25.