În camerele de imagistică științifică,arhitectura senzorilorjoacă un rol esențial în determinarea calității imaginii, a sensibilității și a performanței generale. Majoritatea camerelor moderne de înaltă performanță folosescCMOS (semiconductor metal-oxid complementar)tehnologie pentru matricea de pixeli sensibili la lumină care formează imaginea.
În cadrul tehnologiei senzorilor CMOS, există două arhitecturi principale de iluminare:Iluminat frontal (FSI)şiSenzori iluminați pe partea din spate (BSI)Deși ambele modele sunt utilizate pe scară largă în camerele științifice, ele diferă în modul în care lumina incidentă ajunge la fotodiodele senzorului.
Înțelegerea diferențelor dintreSenzori sCMOS FSI și BSIpoate ajuta cercetătorii și inginerii să aleagă cea mai potrivită cameră pentru aplicații precum microscopia, imagistica în condiții de lumină slabă și alte măsurători științifice solicitante.
Ce sunt senzorii sCMOS FSI și BSI?
Modelul senzorului se referă la tipul de tehnologie a senzorilor de cameră utilizată în dispozitivele de imagistică. În sistemele de imagistică științifică, senzorul joacă un rol esențial în captarea luminii primite și transformarea acesteia în semnale electrice care formează imaginea finală.
Cel mai moderncamere științificeutilizaCMOStehnologie pentru matricea de pixeli sensibili la lumină. Senzorii CMOS au devenit standardul industrial pentru imagistica de înaltă performanță și sunt utilizați pe scară largă în microscopie, cercetare în științele vieții și aplicații de inspecție industrială.
În cadrul tehnologiei senzorilor CMOS, există două arhitecturi principale de iluminare utilizate în camerele moderne:Senzori FSIşiSenzori BSIDeși ambele tipuri se bazează pe aceeași tehnologie de imagistică CMOS, ele diferă prin modul în care lumina trece prin structura senzorului înainte de a ajunge la siliciul care detectează lumina.
Înțelegerea acestei diferențe structurale este esențială pentru a explica de ceSenzorii BSI oferă adesea o sensibilitate mai mare, în special în medii de imagistică științifică cu lumină slabă.
Cum funcționează senzorii iluminați frontal (FSI)?
Senzori FSI — cunoscuți și sub denumirea desenzori iluminați frontal (FI)—sunt cea mai comună arhitectură de senzori CMOS utilizată în sistemele moderne de imagistică. Acest design este adoptat pe scară largă în principal pentru că estemai simplu și mai rentabil de fabricat.
Într-un senzor FSI, firele și tranzistoarele care controlează fiecare pixel sunt plasatedeasupra stratului de siliciu sensibil la luminăPrin urmare, fotonii de intrare trebuie să treacă prin acest strat de electronice înainte de a ajunge la fotodiodele care detectează lumina. Dacă un foton lovește aceste componente, acesta poate fiabsorbit sau împrăștiat, împiedicând-o să ajungă în regiunea sensibilă la lumină.
Această structură reducefactor de umplereal fiecărui pixel și reduce efectulEficiență cuantică(QE)—probabilitatea ca un foton incident să fie detectat. Prin urmare, senzorii FSI oferă în generalsensibilitate mai mică, în special în medii de imagistică cu lumină slabă.
Avantaje
●Mai simplu de fabricat– Senzorii FSI sunt mai ușor de produs deoarece structura senzorului nu necesită subțierea substratului de siliciu.
●Costuri de fabricație mai mici– Procesul de fabricație mai simplu face ca senzorii iluminați frontal să fie mai rentabili.
Dezavantaje
●Sensibilitate mai mică– Cablajele și componentele electronice se află deasupra siliciului care detectează lumina, ceea ce înseamnă că unii fotoni de intrare pot fi blocați înainte de a ajunge la fotodiodă.
Figura 1: Structura pixelilor iluminați frontal și posterior
Vedere laterală a structurii pixelilor pentru senzorii iluminați frontal (stânga) și senzorii iluminați din spate (dreapta). Fațadă prezentată cu sau fără filtre de culoare, spate cu sau fără microlentile. Consultați textul principal pentru explicații despre componente.
Cum funcționează senzorii iluminați pe partea din spate (BSI)?
Senzorii BSI utilizează o arhitectură diferită, concepută pentru a îmbunătăți eficiența colectării luminii. În acest design, structura senzorului este eficientăinversat, permițând fotonilor să ajungă direct la siliciul sensibil la lumină fără a trece mai întâi prin cabluri sau tranzistoare.
Pentru a realiza această configurație, siliciul masiv care susține stratul sensibil la lumină trebuie să fiediluat mecanic sau chimic, un proces adesea denumitsubțierea spateluiAceastă etapă de fabricație permite luminii să pătrundă la fotodiode, dar face și procesul de fabricație mai complex.
Deoarece stratul de cablare este poziționat în spatele fotodiodei, pixelulfactorul de umplere se apropie de 100%, permițând detectarea unei proporții mult mai mari de fotoni de intrare. Drept urmare, senzorii BSI pot realizaQE foarte ridicat—în unele cazuri ajungând90–95%—ceea ce îmbunătățește semnificativ sensibilitatea în condiții de imagistică cu lumină slabă.
Avantaje


●Sensibilitate mai mare– Fără cablare care să blocheze calea luminii, mai mulți fotoni ajung la fotodiode, îmbunătățind detectarea semnalului.
●Performanță îmbunătățită în condiții de lumină slabă– Senzorii BSI sunt deosebit de eficienți în aplicațiile în care captarea semnalelor slabe sau a detaliilor fine este esențială.
Dezavantaje
●Costuri mai mari și complexitate de fabricație– Procesul de subțiere a plachetelor necesar pentru senzorii BSI crește dificultatea de fabricație și costul de producție.
Diferențe cheie între senzorii sCMOS FSI și BSI
Deși atât senzorii FSI, cât și cei BSI se bazează pe aceeași tehnologie de imagistică CMOS, structurile lor interne duc la diferențe importante în ceea ce privește performanța, sensibilitatea și complexitatea fabricației.
Principala diferență constă în modul în care lumina ajunge la fotodiodă. În cazul senzorilor FSI, fotonii de intrare trebuie să treacă prin straturi de cabluri și componente electronice înainte de a ajunge la siliciul sensibil la lumină. În cazul senzorilor BSI, structura senzorului este inversată, astfel încât fotonii lovesc direct fotodioda, îmbunătățind eficiența colectării luminii.
Această modificare arhitecturală crește factorul de umplere și îmbunătățește semnificativ QE, permițând senzorilor BSI să detecteze mai mulți fotoni de intrare - în special în condiții de lumină slabă. Cu toate acestea, această îmbunătățire a performanței vine cu prețul unui proces de fabricație mai complex.
| Caracteristică | Senzori FSI sCMOS | Senzori BSI sCMOS |
| Structura senzorului | Cablare deasupra fotodiodei | Cablare în spatele fotodiodei |
| Calea luminii | Parțial blocat de componente electronice | Cale directă către fotodiodă |
| Factor de umplere | Redus prin straturi de cablare | Aproape de 100% |
| Eficiență cuantică | Moderat | Foarte ridicat (până la ~95%) |
| Sensibilitate | Mai puțină lumină în imagini cu lumină slabă | Sensibilitate mai mare |
| Costul de fabricație | Inferior | Superior |
Din cauza acestor diferențe, alegerea între senzorii FSI și BSI depinde adesea de echilibrul dintre cerințele de performanță și costul sistemului.
Alegerea între senzorii FSI și BSI
Atunci când alegeți între senzori iluminați frontal (FSI) și senzori iluminați din spate (BSI) pentru aplicația dvs. de imagistică, cea mai importantă specificație de luat în considerare este QE necesar pentru nevoile dvs. specifice. Eficiența cuantică se referă la cât de eficient poate un senzor să convertească lumina primită în semnale electrice.
Senzori FSIpoate fi suficient pentru aplicații în care eficiența costurilor este prioritară, iar nivelul de sensibilitate la lumină necesar este moderat.
Senzori BSI, deși mai scumpe, sunt ideale pentru aplicații în care sensibilitatea ridicată este crucială, în special în condiții de lumină slabă.
Înțelegerea eficienței cuantice necesare pentru aplicația dumneavoastră poate ajuta la determinarea dacă o arhitectură de senzori FSI sau BSI este alegerea mai bună.
Concluzie
Atât senzorii FSI, cât și cei BSI sunt utilizați pe scară largă în camerele de imagistică științifică moderne, fiecare oferind avantaje distincte în funcție de aplicație. Senzorii FSI oferă o soluție rentabilă și matură pentru multe sisteme de imagistică în care condițiile de iluminare sunt stabile și nu este necesară o sensibilitate extremă.
Senzorii BSI, pe de altă parte, sunt concepuți pentru a maximiza detectarea fotonilor și pentru a oferi o QE și o sensibilitate mai mari, ceea ce îi face ideali pentru aplicații solicitante în lumină slabă, cum ar fi microscopia cu fluorescență și alte sarcini de imagistică științifică.
Tucsen oferă o gamă de camere sCMOS FSI și BSI concepute pentru diferite cerințe de imagistică, ajutând cercetătorii să aleagă cea mai potrivită arhitectură de senzori pentru aplicațiile lor specifice.
Recomandări pentru camerele Tucsen FSI CMOS și BSI sCMOS
| Tipul camerei | BSI sCMOS | FSI sCMOS |
| Sensibilitate ridicată | Dhyana 95V2 Dhyana 400BSIV2 Dhyana 9KTDI
| Dhyana 400D Dhyana 400DC |
| Format mare | Dhyana 6060BSI Dhyana 4040BSI | Dhyana 6060 Dhyana 4040 |
| Design compact | —— | Dhyana 401D Dhyana 201D |
Tucsen Photonics Co., Ltd. Toate drepturile rezervate. Când citați, vă rugăm să menționați sursa:www.tucsen.com
25.03.2022