Senzori FSI vs. BSI sCMOS: Care este diferența?

timp25.03.2022

În camerele de imagistică științifică,arhitectura senzorilorjoacă un rol esențial în determinarea calității imaginii, a sensibilității și a performanței generale. Majoritatea camerelor moderne de înaltă performanță folosescCMOS (semiconductor metal-oxid complementar)tehnologie pentru matricea de pixeli sensibili la lumină care formează imaginea.

 

În cadrul tehnologiei senzorilor CMOS, există două arhitecturi principale de iluminare:Iluminat frontal (FSI)şiSenzori iluminați pe partea din spate (BSI)Deși ambele modele sunt utilizate pe scară largă în camerele științifice, ele diferă în modul în care lumina incidentă ajunge la fotodiodele senzorului.

 

Înțelegerea diferențelor dintreSenzori sCMOS FSI și BSIpoate ajuta cercetătorii și inginerii să aleagă cea mai potrivită cameră pentru aplicații precum microscopia, imagistica în condiții de lumină slabă și alte măsurători științifice solicitante.

 

Ce sunt senzorii sCMOS FSI și BSI?

Modelul senzorului se referă la tipul de tehnologie a senzorilor de cameră utilizată în dispozitivele de imagistică. În sistemele de imagistică științifică, senzorul joacă un rol esențial în captarea luminii primite și transformarea acesteia în semnale electrice care formează imaginea finală.

1-1

Cel mai moderncamere științificeutilizaCMOStehnologie pentru matricea de pixeli sensibili la lumină. Senzorii CMOS au devenit standardul industrial pentru imagistica de înaltă performanță și sunt utilizați pe scară largă în microscopie, cercetare în științele vieții și aplicații de inspecție industrială.

 

În cadrul tehnologiei senzorilor CMOS, există două arhitecturi principale de iluminare utilizate în camerele moderne:Senzori FSIşiSenzori BSIDeși ambele tipuri se bazează pe aceeași tehnologie de imagistică CMOS, ele diferă prin modul în care lumina trece prin structura senzorului înainte de a ajunge la siliciul care detectează lumina.

 

Înțelegerea acestei diferențe structurale este esențială pentru a explica de ceSenzorii BSI oferă adesea o sensibilitate mai mare, în special în medii de imagistică științifică cu lumină slabă.

 

Cum funcționează senzorii iluminați frontal (FSI)?

Senzori FSI — cunoscuți și sub denumirea desenzori iluminați frontal (FI)—sunt cea mai comună arhitectură de senzori CMOS utilizată în sistemele moderne de imagistică. Acest design este adoptat pe scară largă în principal pentru că estemai simplu și mai rentabil de fabricat.

 

Într-un senzor FSI, firele și tranzistoarele care controlează fiecare pixel sunt plasatedeasupra stratului de siliciu sensibil la luminăPrin urmare, fotonii de intrare trebuie să treacă prin acest strat de electronice înainte de a ajunge la fotodiodele care detectează lumina. Dacă un foton lovește aceste componente, acesta poate fiabsorbit sau împrăștiat, împiedicând-o să ajungă în regiunea sensibilă la lumină.

 

Această structură reducefactor de umplereal fiecărui pixel și reduce efectulEficiență cuantică(QE)—probabilitatea ca un foton incident să fie detectat. Prin urmare, senzorii FSI oferă în generalsensibilitate mai mică, în special în medii de imagistică cu lumină slabă.

 

Avantaje

Mai simplu de fabricat– Senzorii FSI sunt mai ușor de produs deoarece structura senzorului nu necesită subțierea substratului de siliciu.

Costuri de fabricație mai mici– Procesul de fabricație mai simplu face ca senzorii iluminați frontal să fie mai rentabili.

 

Dezavantaje

Sensibilitate mai mică– Cablajele și componentele electronice se află deasupra siliciului care detectează lumina, ceea ce înseamnă că unii fotoni de intrare pot fi blocați înainte de a ajunge la fotodiodă.

 
Vedere laterală a structurii pixelilor pentru senzorii iluminați frontal (stânga) și senzorii iluminați din spate (dreapta).

Figura 1: Structura pixelilor iluminați frontal și posterior

Vedere laterală a structurii pixelilor pentru senzorii iluminați frontal (stânga) și senzorii iluminați din spate (dreapta). Fațadă prezentată cu sau fără filtre de culoare, spate cu sau fără microlentile. Consultați textul principal pentru explicații despre componente.

 

Cum funcționează senzorii iluminați pe partea din spate (BSI)?

Senzorii BSI utilizează o arhitectură diferită, concepută pentru a îmbunătăți eficiența colectării luminii. În acest design, structura senzorului este eficientăinversat, permițând fotonilor să ajungă direct la siliciul sensibil la lumină fără a trece mai întâi prin cabluri sau tranzistoare.

 

Pentru a realiza această configurație, siliciul masiv care susține stratul sensibil la lumină trebuie să fiediluat mecanic sau chimic, un proces adesea denumitsubțierea spateluiAceastă etapă de fabricație permite luminii să pătrundă la fotodiode, dar face și procesul de fabricație mai complex.

 

Deoarece stratul de cablare este poziționat în spatele fotodiodei, pixelulfactorul de umplere se apropie de 100%, permițând detectarea unei proporții mult mai mari de fotoni de intrare. Drept urmare, senzorii BSI pot realizaQE foarte ridicat—în unele cazuri ajungând90–95%—ceea ce îmbunătățește semnificativ sensibilitatea în condiții de imagistică cu lumină slabă.

 

Avantaje

Sensibilitate mai mare– Fără cablare care să blocheze calea luminii, mai mulți fotoni ajung la fotodiode, îmbunătățind detectarea semnalului.

Performanță îmbunătățită în condiții de lumină slabă– Senzorii BSI sunt deosebit de eficienți în aplicațiile în care captarea semnalelor slabe sau a detaliilor fine este esențială.

 

Dezavantaje

Costuri mai mari și complexitate de fabricație– Procesul de subțiere a plachetelor necesar pentru senzorii BSI crește dificultatea de fabricație și costul de producție.

 
1-2-18

Diferențe cheie între senzorii sCMOS FSI și BSI

Deși atât senzorii FSI, cât și cei BSI se bazează pe aceeași tehnologie de imagistică CMOS, structurile lor interne duc la diferențe importante în ceea ce privește performanța, sensibilitatea și complexitatea fabricației.

 

Principala diferență constă în modul în care lumina ajunge la fotodiodă. În cazul senzorilor FSI, fotonii de intrare trebuie să treacă prin straturi de cabluri și componente electronice înainte de a ajunge la siliciul sensibil la lumină. În cazul senzorilor BSI, structura senzorului este inversată, astfel încât fotonii lovesc direct fotodioda, îmbunătățind eficiența colectării luminii.

 

Această modificare arhitecturală crește factorul de umplere și îmbunătățește semnificativ QE, permițând senzorilor BSI să detecteze mai mulți fotoni de intrare - în special în condiții de lumină slabă. Cu toate acestea, această îmbunătățire a performanței vine cu prețul unui proces de fabricație mai complex.

 

Caracteristică

Senzori FSI sCMOS

Senzori BSI sCMOS

Structura senzorului

Cablare deasupra fotodiodei

Cablare în spatele fotodiodei

Calea luminii

Parțial blocat de componente electronice

Cale directă către fotodiodă

Factor de umplere

Redus prin straturi de cablare

Aproape de 100%

Eficiență cuantică

Moderat

Foarte ridicat (până la ~95%)

Sensibilitate

Mai puțină lumină în imagini cu lumină slabă

Sensibilitate mai mare

Costul de fabricație

Inferior

Superior

Din cauza acestor diferențe, alegerea între senzorii FSI și BSI depinde adesea de echilibrul dintre cerințele de performanță și costul sistemului.

Alegerea între senzorii FSI și BSI

Atunci când alegeți între senzori iluminați frontal (FSI) și senzori iluminați din spate (BSI) pentru aplicația dvs. de imagistică, cea mai importantă specificație de luat în considerare este QE necesar pentru nevoile dvs. specifice. Eficiența cuantică se referă la cât de eficient poate un senzor să convertească lumina primită în semnale electrice.

 

Senzori FSIpoate fi suficient pentru aplicații în care eficiența costurilor este prioritară, iar nivelul de sensibilitate la lumină necesar este moderat.

 

Senzori BSI, deși mai scumpe, sunt ideale pentru aplicații în care sensibilitatea ridicată este crucială, în special în condiții de lumină slabă.

 

Înțelegerea eficienței cuantice necesare pentru aplicația dumneavoastră poate ajuta la determinarea dacă o arhitectură de senzori FSI sau BSI este alegerea mai bună.

 

Concluzie

Atât senzorii FSI, cât și cei BSI sunt utilizați pe scară largă în camerele de imagistică științifică moderne, fiecare oferind avantaje distincte în funcție de aplicație. Senzorii FSI oferă o soluție rentabilă și matură pentru multe sisteme de imagistică în care condițiile de iluminare sunt stabile și nu este necesară o sensibilitate extremă.

 

Senzorii BSI, pe de altă parte, sunt concepuți pentru a maximiza detectarea fotonilor și pentru a oferi o QE și o sensibilitate mai mari, ceea ce îi face ideali pentru aplicații solicitante în lumină slabă, cum ar fi microscopia cu fluorescență și alte sarcini de imagistică științifică.

 

Tucsen oferă o gamă de camere sCMOS FSI și BSI concepute pentru diferite cerințe de imagistică, ajutând cercetătorii să aleagă cea mai potrivită arhitectură de senzori pentru aplicațiile lor specifice.

 

Recomandări pentru camerele Tucsen FSI CMOS și BSI sCMOS

 

Tipul camerei BSI sCMOS FSI sCMOS
Sensibilitate ridicată
Dhyana 95V2
Dhyana 400BSIV2
Dhyana 9KTDI

 


Dhyana 400D
Dhyana 400DC

Format mare Dhyana 6060BSI
Dhyana 4040BSI

Dhyana 6060
Dhyana 4040

Design compact ——
Dhyana 401D
Dhyana 201D

Tucsen Photonics Co., Ltd. Toate drepturile rezervate. Când citați, vă rugăm să menționați sursa:www.tucsen.com

Prețuri și opțiuni

Indicator de top
indicator de cod
apel
Serviciu clienți online
Indicator de jos
Cod flotant

Prețuri și opțiuni